Processen att behandla ett arbetsstycke’s yta med plasma via kemiska eller fysiska åtgärder för att uppnå föroreningar på molekylnivå (vanligtvis med en tjocklek som sträcker sig från dussintals till hundratals nanometer) och förbättra arbetsstycket’s ytaktivitet kallas plasmastrensning. När en gas når ett plasmatillstånd bryter gasformiga molekyler i många mycket aktiva partiklar. Mekanismen för plasmarengöring förlitar sig på "aktiveringseffekten" av ämnen i "plasmatillståndet" för att ta bort fläckar från ett objekt’s yta eller förbättra ytaktiviteten. Föroreningar som kan tas bort inkluderar organiska ämnen, epoxihartser, fotoresister, oxider och partikelformiga föroreningar. Plasmarengöring är en högprecisionsmikrorengöringsteknik; Det kan lösa vidhäftningsutmaningar och förbättra kvaliteten på beläggning, bindning, vätning, utskrift och måla