एक वर्कपीस के इलाज की प्रक्रिया’आणविक स्तर पर संदूषण हटाने को प्राप्त करने के लिए रासायनिक या भौतिक क्रियाओं के माध्यम से प्लाज्मा के साथ सतह (आमतौर पर दर्जनों से लेकर सैकड़ों नैनोमीटर तक की मोटाई के साथ) और वर्कपीस को बढ़ाते हैं’एस सतह गतिविधि को प्लाज्मा सफाई कहा जाता है। जब एक गैस प्लाज्मा राज्य तक पहुंचती है, तो गैसीय अणु कई उच्च सक्रिय कणों में टूट जाते हैं। प्लाज्मा सफाई का तंत्र किसी वस्तु से दाग को हटाने के लिए "प्लाज्मा राज्य" में पदार्थों के "सक्रियण प्रभाव" पर निर्भर करता है’s सतह या इसकी सतह गतिविधि में सुधार। जिन दूषित पदार्थों को हटाया जा सकता है, उनमें ऑर्गेनिक्स, एपॉक्सी रेजिन, फोटोरिसिस्ट, ऑक्साइड और पार्टिकुलेट प्रदूषक शामिल हैं। प्लाज्मा सफाई एक उच्च-सटीक सूक्ष्म-सफाई तकनीक है; यह आसंजन चुनौतियों को हल कर सकता है और कोटिंग, बॉन्डिंग, वेटिंग, प्रिंटिंग और पेंटिंग की गुणवत्ता में सुधार कर सकता है