Der Prozess der Behandlung eines Werkstücks’S Oberfläche mit Plasma über chemische oder physikalische Wirkungen, um eine Kontaminationsentfernung auf molekularer Ebene zu erreichen (typischerweise mit einer Dicke von Dutzenden bis Hunderten von Nanometern) und das Werkstück verbessern’S Oberflächenaktivität wird als Plasmareinigung bezeichnet. Wenn ein Gas einen Plasmazustand erreicht, brechen gasförmige Moleküle in zahlreiche hochwirksame Partikel ein. Der Mechanismus der Plasmareinigung beruht auf dem "Aktivierungseffekt" von Substanzen im "Plasmazustand", um Flecken aus einem Objekt zu entfernen’s Oberfläche oder verbessern Sie seine Oberflächenaktivität. Verunreinigte, die entfernt werden können, umfassen organische Stoffe, Epoxidharze, Photoresistern, Oxide und Partikelschadstoffe. Die Plasmareinigung ist eine hochpräzise Micro-Reinigungs-Technologie. Es kann Adhäsionsprobleme lösen und die Qualität von Beschichtung, Bindung, Benetzung, Drucken und Malerei verbessern