El proceso de tratar una pieza de trabajo’S superficie con plasma a través de acciones químicas o físicas para lograr la eliminación de contaminación a nivel molecular (típicamente con un grosor que varía de docenas a cientos de nanómetros) y mejora la pieza de trabajo’La actividad de la superficie S se llama limpieza de plasma. Cuando un gas alcanza un estado de plasma, las moléculas gaseosas se dividen en numerosas partículas altamente activas. El mecanismo de limpieza de plasma se basa en el "efecto de activación" de las sustancias en el "estado de plasma" para eliminar las manchas de un objeto’s superficie o mejorar su actividad superficial. Los contaminantes que se pueden eliminar incluyen orgánicos, resinas epoxi, fotorresistas, óxidos y contaminantes de partículas. La limpieza de plasma es una tecnología de micro-limpieza de alta precisión; Puede resolver los desafíos de adhesión y mejorar la calidad de la recubrimiento, la unión, la humectación, la impresión y la pintura.