Bir iş parçasını tedavi etme süreci’Moleküler seviyede kontaminasyon giderimi elde etmek için kimyasal veya fiziksel etkiler yoluyla plazma ile yüzey (tipik olarak düzinelerden yüzlerce nanometreye kadar değişen bir kalınlıkta) ve iş parçasını geliştirir’S yüzey aktivitesine plazma temizliği denir. Bir gaz bir plazma durumuna ulaştığında, gaz molekülleri çok sayıda yüksek aktif parçacık haline gelir. Plazma temizleme mekanizması, bir nesneden lekeleri çıkarmak için "plazma durumundaki" maddelerin "aktivasyon etkisine" dayanır.’yüzey veya yüzey aktivitesini geliştirir. Çıkarılabilen kirleticiler arasında organikler, epoksi reçineler, fotorezistler, oksitler ve partikül kirleticileri bulunur. Plazma temizliği yüksek hassasiyetli bir mikro temizleme teknolojisidir; Yapışma zorluklarını çözebilir ve kaplama, bağlama, ıslatma, baskı ve boyama kalitesini artırabilir