O processo de tratamento de uma peça de trabalho’S superfície com plasma por meio de ações químicas ou físicas para obter remoção de contaminação no nível molecular (normalmente com uma espessura que varia de dezenas a centenas de nanômetros) e aprimorar a peça de trabalho’S A atividade superficial é chamada de limpeza de plasma. Quando um gás atinge um estado plasmático, as moléculas gasosas se dividem em inúmeras partículas altamente ativas. O mecanismo de limpeza de plasma depende do "efeito de ativação" das substâncias no "estado plasmático" para remover manchas de um objeto’S superfície ou melhorar sua atividade superficial. Os contaminantes que podem ser removidos incluem orgânicos, resinas epóxi, fotorresistas, óxidos e poluentes particulados. A limpeza de plasma é uma tecnologia de micro-limpeza de alta precisão; Ele pode resolver desafios de adesão e melhorar a qualidade do revestimento, ligação, molhamento, impressão e pintura